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电子湿化学品又称超净高纯试剂或工艺化学品,是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂,是微电子、光电子湿法工艺(主要包括湿法刻蚀、湿法清洗)制程中使用的各种液体化工材料。电子湿化学品是电子工业中的关键性基础化工材料,也是重要支撑材料之一,其质量的好坏,直接影响到电子产品的成品率、电性能及可靠性,也对微电子制造技术的产业化有重大影响。
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